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洁净室的正压控制

发布者: 发布时间:2022-12-28 09:15:21 点击数:

1.洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净室

之间的静压差,应不小于0.5毫米,洁净区与室外的静压差,不应小于1.0毫米水柱。

2.洁净室维持不同的正压值所需的正压风量,宜按下式计算:

Q=a●∑(q●L)

式中Q--维持洁净室正压值所需的正压风量(平方米/时)

a--根据围护结构气密性确定的安全系数,可取1.1~1.2

q--当洁净室为某一正压值时,其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(平方米/时●米)

        L--围护结构的缝隙长度(米)

3.围护结构单位长度缝隙渗漏风量表3采用

4.送、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时,联锁程序应为应为先启动送风机,再启动回风机和排风机;系统关闭时,则联锁程序应相反。

5.非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班风机,并应对新风机进行处理。


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